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產(chǎn)品中心

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小型蒸鍍儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650CVD
更新時(shí)間:2024-04-30
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:2063
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探濺射氣體根據(jù)需求氣體
樣品臺(tái)尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉(cāng)尺寸50mm靶材尺寸50mm
靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀價(jià)格區(qū)間1-5萬(wàn)
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子

小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

小型蒸鍍儀

小型蒸鍍儀技術(shù)資料:

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1800℃

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口  6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa)  

數(shù)顯真空計(jì)(測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa)

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)






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